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大面积步进扫描式曝光机的制作方法

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大面积步进扫描式曝光机的制作方法

发布日期:2017-12-05 作者: 点击:

大面积步进扫描式曝光机的制作方法
实用新型涉及一种大面积曝光机,由于采用了步进扫描曝光方式,在不扩大有效曝光面积和不增加灯功率的情况下,实现了大面积精密曝光。
目前,公知的紫外光曝光机采用二种方式实现大面积曝光,一是增加有效曝光面积,面积的增加导致光学部件面积的增加,使制作成本和难度成倍增加,为了确保紫外光的光强度,面积增加后必须采用大功率紫外灯或多个灯同时工作;一是采用单向扫描方式,这样虽然可以提高一个方向的曝光长度,另一方向还必须通过扩大有效曝光区域实现。
本实用新型的目的则是针对上述现有技术存在的问题,设计了一种在不增加有效曝光面积和灯功率的前提下,通过有效曝光区的步进扫描以及边缘递减光校正窗,实现了大面积精密曝光。
本实用新型的目的可以通过以下措施来达到一种大面积步进扫描式曝光机,其特征是在曝光机的光输出窗3下方设置边缘递减光校正窗4;边缘递减光校正窗4为相对平行六面体。
本实用新型相比现有技术具有如下优点本实用新型由于采用上述方案,在不增加有效曝光面积和灯功率的情况下,可以实现大面积精密曝光,曝光面积的大小仅由平台的步进和扫描区域的大小决定,这是可以方便实现的。因此可以大大降低设备的制作成本和复杂程度。扫描曝光机

扫描曝光机

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